羅茨-旋片-油擴散泵真空機組
特點與應用：
該機組采用油做工作介質，對于怕油污染的真空環境，其使用受到了一定限制。但采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷為工作液，返油就會得到很大改善。也可以采用水冷擋板，再裝一個簡單的液氮阱，可使返油率小于5×10-6mg/cm2因而可廣泛地應用于光學工業、電子工業、真空冶金、航天及原子能工業中。
該機組的主泵有：（JK系列）直腔式油擴散泵和（JKT系列）凸腔式油擴散泵兩種類型。典型的應用設備有各種真空單晶爐、真空燒結爐和真空鍍膜機等。
該機組具有結構緊湊，操作靈活可靠，使用方便等特點，廣泛應用于電子工業、冶金工業、化學工業、原子能工業以及宇航等科研技術領域。可為真空燒結爐，各種真空鍍膜機以及真空電子束焊機、各類真空電爐、電子顯微鏡、各種電子射線、加速器、宇宙空間模擬容器所需之高真空環境均可用JK系列擴散泵真空機組來實現。
該機組可配套提供JZ系列油擴散噴射泵真空機組（又稱油增壓泵機組）。該機組抽氣能力大、粗抽時間短、設備維護簡單、操作方便，是真空應用設備的配套設備。但該機組不適于排除對金屬有腐蝕作用及對泵油產生化學反應的氣體。現廣泛地被太陽能制品企業所應用。
